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su 25/12/2023
Canone: la tecnologia NanoIprinting dovrebbe produrre semiconduttori da 2nm
Canon Corporation of Japan ha annunciato il 13 ottobre il lancio di attrezzature per la produzione di semiconduttori FPA-1200NZ2C Nanoimprint (NIL).Il CEO di Canon, Fujio Mitarai, ha dichiarato che la nuova tecnologia NanoIprinting dell'azienda aprirà la strada ai piccoli produttori di semiconduttori di produrre chip avanzati e questa tecnologia è attualmente quasi interamente di proprietà delle più grandi aziende del settore.
Quando si spiega la tecnologia di nanoimprinting, Iwamoto Kazunori, il capo del business delle attrezzature per semiconduttori di Canon, ha dichiarato che la tecnologia di nanoimprint prevede l'impronta di una maschera con uno schema a circuito a semiconduttore su un wafer.Imprinting solo una volta su un wafer, si possono formare circuiti bidimensionali o tridimensionali complessi nella posizione appropriata.Se la maschera è migliorata, è possibile produrre anche prodotti con una larghezza di linea di 2NM.Attualmente, la tecnologia NIL di Canon consente alla larghezza di linea minima del modello di corrispondere a un semiconduttore logico del nodo da 5 nm.
È stato riferito che l'industria delle attrezzature per la produzione di chip da 5 nm è dominata da ASML e il metodo di nanoimprinting di Canon può aiutare a ridurre il divario.
In termini di costi delle attrezzature, Iwamoto e Takashi hanno dichiarato che i costi dei clienti variano a seconda delle condizioni e si stima che il costo richiesto per un processo litografico può talvolta essere ridotto alla metà delle attrezzature litografiche tradizionali.La riduzione della scala delle apparecchiature per nanoimprinting facilita anche l'introduzione di applicazioni come la ricerca e lo sviluppo.Il CEO di Canon, Fujio Mitarai, ha dichiarato che il prezzo dei prodotti per le attrezzature per nanoimprint dell'azienda sarà di una cifra inferiore rispetto alle apparecchiature EUV (Extreme Ultraviolet) di ASML, ma la decisione finale dei prezzi non è stata ancora presa.
È stato riferito che Canon ha ricevuto molte indagini da produttori di semiconduttori, università e istituti di ricerca riguardanti i propri clienti.Come prodotto alternativo alle attrezzature EUV, le apparecchiature per nanoimprint sono molto anticipate.Questo dispositivo può essere utilizzato per varie applicazioni a semiconduttore come la memoria flash, la DRAM del personal computer e la logica.