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su 17/05/2024
Sumitomo Heavy Industries lancerà macchine per impianti di siic in Giappone
Secondo i rapporti sui media stranieri, la consociata di Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, lancerà macchine per impianti ioni per i semiconduttori di potenza del silicio (SIC) sul mercato già nel 2025.
La maggior parte delle attrezzature utilizzate nel processo SIC è la stessa delle tradizionali linee di produzione del silicio, ma a causa dell'elevata durezza di SIC, sono necessarie attrezzature di produzione speciali, come macchine per impianti ionici ad alta temperatura, macchine per lo sputtering del film in carbonio, alta produzione in serie elevate-Forni di ricottura a temperatura, ecc. Tra questi, la presenza di macchine per impianti ioni ad alta temperatura è un criterio importante per misurare le linee di produzione SIC.
Secondo il rapporto, le apparecchiature di impianto ionico iniettano ioni impurità come il fosforo e il boro nel wafer per cambiare le sue proprietà elettriche.Per i wafer di silicio, il trattamento termico viene eseguito dopo l'impianto ionico per ripristinare la cristallinità.Tuttavia, per SIC, è difficile ripristinare la cristallinità esclusivamente attraverso il trattamento termico dopo l'impianto di ioni.Il solito metodo è quello di riscaldare il chip SIC a circa 500 gradi Celsius, quindi eseguire impianti ioni e trattamento termico.A causa del suo complesso processo operativo, i semiconduttori SIC hanno il problema di una resa inferiore rispetto ai semiconduttori di silicio.
Questa volta, Sumitomo Heavy Industries Ion Technology prevede di migliorare il metodo di impianto ionico dei suoi prodotti lanciati, mantenendo la qualità SIC e aumentando la produzione.
A causa di fattori come un'elevata difficoltà tecnica e una difficile validazione del processo, ci sono elevate barriere competitive e un'elevata concentrazione del settore nel settore delle macchine per impianti ionici.Nel complesso, l'intero mercato è principalmente monopolizzato dalla American Applied Materials Company e dalla American Axcelis Company, rappresentando oltre il 70% del mercato globale.
Gli ultimi dati di TrendForce Consulting mostrano che SIC sta ancora accelerando la sua penetrazione nei mercati delle applicazioni come automobili e energia rinnovabile in cui la densità di potenza e l'efficienza sono estremamente importanti.La domanda complessiva del mercato manterrà una tendenza alla crescita nei prossimi anni e si stima che il mercato globale del mercato SIC dovrebbe raggiungere i 9,17 miliardi di dollari nel 2028.